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3次元空間の物体の動作は加速度と角速度で表され、これらを検出するセンサはマイクロマシニング技術やセラミック技術を用いて作られている。既に、加速度センサにおいてはピエゾ抵抗型、静電容量型及び圧電型の3軸加速度センサが開発されている。角速度センサにおいても圧電型の3軸角速度センサが開発されている。ワコーでは圧電型3軸角速度センサを応用し、3軸角速度と3軸加速度を同時に検出する6軸モーションセンサの開発に成功した。
質量も持った物体がある速度を持って運動しているとき、その物体に角速度が作用すると、見かけ上の力(コリオリの法則)が発生する。さらに、加速度が物体に作用すると力(ニュートンの法則
F=mAによる)が発生する。6軸モーションセンサはこれらの法則に基づき、3軸角速度と3軸加速度を検出する。角速度の場合、振動子を回転運動(歳差運動)させ、2軸方向の速度成分(Vx、Vy)を与え、2軸方向のコリオリ力(Fy、Fz)を検出することで3軸の角速度成分(ωx、ωy、ωz)を検出することができる。また加速度の場合、3軸方向の力成分(Fx、Fy、Fz)を検出することで加速度成分(Ax、Ay、Az)が検出できる。
角速度と加速度を検出するために同じ力成分を検出することになるが、角速度によって発生するコリオリ力は駆動周波数に同期しているために高く(数10kHz以上)なる。また、測定すべき加速度の周波数は100Hz程度であり検出すべき力の周波数は2桁以上の差がある。この周波数の違いから加速度による力と角速度による力を弁別することができ、6軸モーションセンサは3軸角速度と3軸加速度を同時に検出することができる。
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